A pendinginadalah alat pendingin air yang dapat memberikan tekanan konstan, suhu konstan, dan aliran konstan. Caranya dengan menyuntikkan air secukupnya ke dalam tangki air, mendinginkan air melalui sistem pendingin, dan menggunakan pompa untuk mengangkut air pendingin ke peralatan yang perlu didinginkan. Air pendingin menghilangkan panas pada peralatan untuk mencapai efek pendinginan. Air pendingin ditambahkan ke peralatan frekuensi menengah terutama karena frekuensinya yang tinggi dan arusnya yang besar. Ketika target sputtering magnetron digunakan akan menghasilkan suhu tinggi dan merusak bentuk senjata, sehingga diperlukan jaket air untuk mendinginkan senjata. Sputtering magnetron dapat dikatakan sebagai salah satu pencapaian paling menonjol dalam teknologi pelapisan. Keunggulannya adalah kekuatan ikatan film-substrat yang baik, laju sputtering yang tinggi, kenaikan suhu substrat yang rendah, dan stabilitas perangkat yang baik. Pendingin memiliki sistem sirkulasi air independen dan sistem pendingin independen, yang tidak terpengaruh oleh lingkungan luar. Bersama-sama, fitur-fitur ini memberikan kontrol suhu yang andal dan hasil pelapisan berkualitas tinggi untuk proses pelapisan ion vakum.
Fungsi dan karakteristik chiller pada mesin pelapis ion vakum antara lain :
1. Mendinginkan target: Target pada mesin pelapis ion vakum digunakan untuk menghasilkan ion logam, namun akan menghasilkan banyak panas selama proses pelapisan. Pendingin dengan cepat mendinginkan target melalui sistem pendingin sirkulasi untuk menjaga suhu pengoperasian normal target, mencegah peralatan terlalu panas yang menyebabkan kegagalan atau mengurangi kualitas lapisan, dan memastikan keluaran ion yang stabil.
2. Kontrol stabilitas: Thependingindapat mengontrol suhu peralatan secara stabil untuk memastikan bahwa peralatan beroperasi secara stabil dalam kisaran suhu pengoperasian normal. Hal ini membantu menjaga konsistensi dan stabilitas lapisan, meningkatkan konsistensi dan keandalan kualitas lapisan.
3. Penyesuaian presisi tinggi: Parameter pengoperasian chiller dapat disesuaikan dengan kebutuhan spesifik, termasuk suhu, aliran, dan tekanan air pendingin. Hal ini memungkinkan chiller memberikan kontrol suhu yang tepat sesuai dengan kebutuhan pelapisan yang berbeda, memastikan stabilitas dan kualitas tinggi dari proses pelapisan.
3.Hemat energi: Kapasitas pendinginan efisiensi tinggi dan fungsi kontrol chiller yang presisi membantu mengurangi konsumsi energi. Dengan mengontrol suhu peralatan secara efektif, pemborosan energi tambahan dapat dikurangi dan efisiensi pemanfaatan energi dapat ditingkatkan.
5. Kinerja perlindungan lingkungan: penerapan chiller pada mesin pelapis ion vakum dapat mengurangi dampak buruk terhadap lingkungan. Ia menggunakan sirkulasi air untuk pendinginan, mengurangi konsumsi air, dan menghasilkan kebisingan dan getaran yang lebih rendah selama pengoperasian.
6. Pengendalian lingkungan: Penerapan chiller pada mesin pelapis ion vakum juga dapat mengontrol suhu dan kelembapan sekitar untuk menyediakan lingkungan kerja yang baik. Suhu dan kelembapan lingkungan yang sesuai dapat meningkatkan derajat vakum, mengurangi dampak kotoran dan gas, serta meningkatkan kualitas lapisan.
Singkatnya, penerapanpendingindalam mesin pelapis ion vakum mencakup banyak aspek seperti target pendinginan, substrat pendingin, peralatan pendingin dan pengendalian lingkungan, memastikan kontrol suhu peralatan dan benda kerja selama proses pelapisan, meningkatkan kualitas pelapisan dan Produktivitas.